(2022年4月1日)
技術開発ユニット開発企画統括部開発業務部長、東智靖
技術開発ユニットつくば開発センター所長（R&D・ユニットつくば研究所副所長兼同位体プロジェクトマネジャー）神辺貴史
技術開発ユニットつくば開発センター化学合成開発部長（R&D・ユニットつくば研究所化学合成技術部長）福田健治
技術開発ユニットつくば開発センターエレクトロニクス開発部長（R&D・ユニットつくば研究所電子機材技術部長）富田修康
技術開発ユニットつくば開発センター深冷分離開発部長（R&D・ユニットつくば研究所深冷分離技術部長）木原均
技術開発ユニットつくば開発センター分析技術部長（技術統括ユニット分析技術センター所長）関哲也
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(2017年4月1日)
ＣＳＯ（産業ガス事業本部副本部長兼電子機材事業統括部長）取締役兼専務執行役員、天田茂
大陽日酸グループＣＣＯ（管理本部長）上席常務執行役員兼ＣＣＯ、石川潤
技術本部長（技術本部副本部長）常務執行役員、谷沢博幸
関東支社長（中四国支社長）常務執行役員、柳田裕久
エンジニアリング本部長（オンサイト・プラント事業本部長）常務執行役員、上原正弘
産業ガス事業本部長（産業ガス事業本部副本部長兼ガス事業統括部長兼プロダクト管理統括部長）常務執行役員、永田研二
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