(2019年12月20日)
取締役、執行役員生産本部長、橋本昌典
取締役（顧問）阿部和香
上席執行役員（取締役）NM開発室長、塩尻和也
退任（取締役）麓泰紀
管理本部担当兼管理本部長（経営戦略室長）執行役員、前川隆
経営戦略室長（経営戦略室副室長）一井洋孝
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(2019年10月1日)
NM開発室担当兼NM開発室長（事業開発室担当）取締役、塩尻和也
頂正科技監査人、取締役、前野隆一
執行役員、経営戦略室長、前川隆
執行役員・頂正科技出向・董事長（頂正科技出向・総経理）平井健策
執行役員、生産本部長、橋本昌典
執行役員事業開発室担当兼事業開発室長（事業推進室長）中村一志
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(2016年10月1日)
取締役相談役（会長）石田敬輔
事業開発室・開発部・知財グループ担当（技術開発本部長）取締役、塩尻和也
顧問、野上良忠
フォトマスク事業本部営業本部長（営業本部副本部長）吉田豊
フォトマスク事業本部生産本部長（頂正科技総経理）橋本昌典
京都工場長（滋賀工場長）フォトマスク事業本部生産本部副本部長、平尾匡
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(2014年10月1日)
技術開発本部長（開発部担当）取締役、塩尻和也
執行役員（顧問）向田泰久
生産本部京都工場長（滋賀工場長）生産本部長、平井健策
事業推進室長（生産本部副本部長兼京都工場長）中村一志
生産本部滋賀工場長（滋賀工場副工場長）平尾匡
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