(2019年4月1日)
執行役専務兼日立ハイテクファインシステムズ社長（執行役常務）モノづくり戦略本部長、本田穣慈
CFO財務本部長（CIO兼CTrO）執行役常務、桜井真司
産業ソリューション事業統括本部長（先端産業部材事業統括本部長）執行役常務、田嶋浩
執行役常務兼CDO（執行役産業システム事業統括本部長兼日立ハイテクソリューションズ社長）飯泉孝
CSO（日立ハイテクノロジーズ韓国会長）執行役、加藤仁
産業ソリューション事業統括本部副統括本部長（先端産業部材事業統括本部副統括本部長）執行役、三善慶太
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(2016年4月1日)
情報システムセンター担当（製品管理部担当）常務執行役員、西田繁信
製品管理部担当、執行役員経営企画部長兼施設・安全管理部長・、藤井達也
半導体機器事業部副事業部長、製造部長・、伊東健
技術・品質管理センター長、坂本雅史
信号事業部技術企画部長、池谷崇
信号事業部第４技術部長、南部修二
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