(2023年3月1日)
半導体プロセス装置管掌（ものづくり本部長）取締役兼執行役員常務、石田茂
製品・LCS本部半導体装置設計部長（製品設計部長）執行役員製品・LCS本部長、海津拓哉
ものづくり本部長（ものづくり本部副本部長）執行役員製造部長、土屋敬三
製品・LCS本部FPD/IJP装置設計部長（PE設計部長）製品・LCS本部副本部長、中山幸徳
製品・LCS本部本部担当部長、田村真一
ものづくり本部副本部長、品質保証部長、宮川知久
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(2021年10月1日)
ものづくり本部長、取締役兼執行役員常務、石田茂
ものづくり本部副本部長、執行役員調達部長、上田寛幸
ものづくり本部副本部長、執行役員製造部長、土屋敬三
内部監査室長（社長付）野沢貞雄
ものづくり本部業務部長（業務部長）高梨洋一
ものづくり本部品質保証部長（品質保証部長）宮川知久
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(2014年4月1日)
ＣＩＯ（ＩＴ・業革推進本部長）小野哲嗣
事業主管（ＣＩＯ）湯山恭史
ＣＳＯ兼海外大規模ＰＪ統括本部長（フロントＥＮ部門ＣＥＯ）岡部明
ＣＦＯ兼財務統括本部長（電力ＳＹＧ電力ＳＹ社ＣＦＯ）渡辺晴則
〈財務統括本部〉Ｇ会社室長、佐々木亮
財務（インフラＳＹ社機械ＳＹ事業本部財務）細谷幸生
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