(2022年7月1日)
副社長（専務執行役員第四開発生産本部長）コーポレートオフィサー第一開発生産本部長兼コーポレート生産本部長兼山梨事業所長、佐々木貞夫
専務執行役員人事総務ユニットGM（常務執行役員）コーポレートオフィサーGlobalBusinessPlatform本部長、長久保達也
専務執行役員（常務執行役員）コーポレートオフィサーAccountSales本部長、池田世崇
専務執行役員（常務執行役員）コーポレートオフィサーSPE事業本部長、三田野好伸
専務執行役員フィールドソリューション事業本部長（常務執行役員）コーポレートオフィサーGlobalSales本部長、大久保豪
常務執行役員（執行役員）第二開発生産本部長、児島雅之
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(2020年7月1日)
IR室長、八田浩一
情報セキュリティ室長、藤井俊郎
Certas戦略企画部長、執行役員ESBUGM、和久井勇
TFF事業企画部長、執行役員TFFBUGM、石田博之
CorporateInnovation本部デバイス技術企画部長（デバイス技術プロジェクトリーダー）山本知成
東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ統括部長（Certas戦略企画部長）高橋伸幸
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(2018年7月1日)
ＣｏｒｐｏｒａｔｅＩｎｎｏｖａｔｉｏｎ本部長（事業本部長）社長兼ＣＥＯ、河合利樹
生産技術部門担当（第二開発生産本部長兼調達・生産企画室長）取締役兼専務執行役員、北山博文
人事・総務・ＣＳＲ本部長兼法務・コンプライアンス本部長（人事・総務本部長兼コンプライアンス担当）取締役兼常務執行役員長、久保達也
フィールドソリューション事業本部長（ＦＳＢＵＧＭ）取締役兼常務執行役員、春原清
ＣｏｒｐｏｒａｔｅＭａｒｋｅｔｉｎｇ担当（グローバル・フィールド本部統括本部長）常務執行役員、堤秀介
ＧｌｏｂａｌＳａｌｅｓ本部長兼ＧｌｏｂａｌＳａｌｅｓ本部ＧＭ（グローバル・フィールド本部統括副本部長兼リージョン戦略企画本部長）常務執行役員、大久保豪
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(2015年1月1日)
エッチングシステムマーケティング兼プロダクトセールス一、執行役員ＥＳ副ＢＵＧＭ、三田野好伸
東京エレクトロン宮城執行役員（エッチングシステムマーケティング兼プロダクトセールス一）和久井勇
コーポレート管理本部付担当部長（人事兼人材開発センター長）川本弘
人事兼人材開発センター長（総務）前島裕紀
総務、阿曽達也
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