(2022年4月1日)
監査部次長（経理部次長）池田誉
経営企画室副室長、小黒誠司
経営企画室副室長、後藤公久
情報セキュリティ統括室長（生産システム本部設計システム技術センター長）宮本照雄
輸出管理部長（半導体・デバイス事業本部高周波光デバイス製作所営業部長）坂本善史
輸出管理部次長、今村裕子
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(2020年10月1日)
経済安全保障担当、常務執行役、日下部聡
人事部長、増田邦昭
法務・コンプライアンス部次長、山口憲和
法務・コンプライアンス部社会渉外室長（開発本部情報技術総合研究所総務部長）岡本伸郎
経済安全保障統括室長（国際本部地域統括部次長）伊藤隆
営業本部関西支社スマートシティ推進室長、関西支社副支社長、生田誠
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(2017年4月1日)
ＩＴ戦略室ＩＴ戦略推進部長、山中秀昭
ＩＴ戦略室ＩＴ企画部長、守政隆司
ＩＴ戦略室経営システム部長（ＩＴ戦略推進部長）熊手剛彦
知的財産センター特許技術推進部長、青山直樹
営業本部北海道支社プラント建設部長、森岡建二
営業本部東北支社事業推進部長（福島支店長）西村拓磨
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