(2023年4月1日)
監査役（SCREENホールディングス経理・財務室経理部長）西垣正朗
退任（監査役）吉川敦則
CSR統轄部統轄部長、執行役員事業統轄部長兼経営推進部長、岡本昭彦
CSR統轄部安全保障貿易管理部長（CSR部長）小松裕樹
CSR統轄部安全衛生推進部長、内田伸
CSR統轄部ESG推進部長、吾子健一郎
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(2023年4月1日)
新規事業担当（事業企画担当）常務執行役員、大塚純二
上席執行役員水素関連事業担当（SCREENファインテックソリューションズ上席執行役員エネルギー事業担当）吉野裕文
滋賀地区担当、執行役員、百田雅人
執行役員コーポレートマーケティング担当、コーポレートマーケティング室長、檜垣吉秀
IT企画室IT企画部長、西村聡
同ITセキュリティ部長（SCREENセミコンダクターソリューションズ経営戦略統轄部IT推進部長）小林知之
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(2018年4月1日)
品質統轄担当（ＨＲ・インフラ統轄担当）代表取締役兼社長執行役員ビジネス本部長、須原忠浩
監査役、吉川敦則
顧問（監査役）谷田研一
常務執行役員ＴＳ製品統轄担当兼ＣＣＳ製品統轄部洗浄技術開発部長（執行役員）ＣＣＳ製品統轄部長、田中真人
ＳＣＭ統轄部長（グローバルセールス統轄部長兼韓国営業部長）執行役員、山田光浩
執行役員、経営戦略統轄部長兼経営管理部長兼業務改革推進部長・、石村学
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