(2023年4月1日)
常務執行役員（執行役員）イノベーションユニット長、小林邦裕
常務執行役員電子機材ユニット長兼基盤事業支援ユニット長（執行役員電子機材ユニット副ユニット長兼電子機材海外事業部長）相田智之
常務執行役員工業ガスユニット長兼基盤事業支援ユニット副ユニット長（執行役員中部支社長）飯塚浩幸
プラントエンジニアリングセンター長（オンサイト・プラントユニット長兼プラントエンジニアリングセンター副センター長）執行役員、柳川徹
中部支社長（経営企画・ICT・ユニット長）執行役員、竹内聡一郎
執行役員、メディカルユニット長、古海敏恵
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(2022年4月1日)
常務執行役員（執行役員）電子機材ユニット長兼基盤事業支援ユニット副ユニット長、高木正治
執行役員、経営企画・ICT・ユニット長、竹内聡一郎
電子機材ユニット副ユニット長兼電子機材海外事業部長（九州支社長）執行役員、相田智之
ガスエンジニアリングセンター長（つくば研究所長）執行役員技術開発ユニット長、武内雅弘
プラントエンジニアリングセンター副センター長兼企画業務（業務統括ユニット長）執行役員、東剛
理事 メディカルユニット長（バイオ・メディカル事業部長兼事業推進部長）古海敏恵
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(2017年4月1日)
ＣＳＯ（産業ガス事業本部副本部長兼電子機材事業統括部長）取締役兼専務執行役員、天田茂
大陽日酸グループＣＣＯ（管理本部長）上席常務執行役員兼ＣＣＯ、石川潤
技術本部長（技術本部副本部長）常務執行役員、谷沢博幸
関東支社長（中四国支社長）常務執行役員、柳田裕久
エンジニアリング本部長（オンサイト・プラント事業本部長）常務執行役員、上原正弘
産業ガス事業本部長（産業ガス事業本部副本部長兼ガス事業統括部長兼プロダクト管理統括部長）常務執行役員、永田研二
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(2016年7月1日)
オンサイト事業部長（営業統括部副統括部長兼オンサイト営業）柳川徹
オンサイト事業部企画（営業統括部海外オンサイト企画）古賀公貴
オンサイト事業部オンサイト営業、千田健一郎
プラント事業部長（営業統括部長兼プラント営業）長井匡久
プラント事業部ＡＳＵ営業、稲森武則
プラント事業部ＳＣＥ営業（プラント・エンジニアリングセンター宇宙・低温機器統括部営業）撫原浩嗣
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