(2023年6月20日)
監査役、七沢豊
退任（監査役）原田芳輝
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(2015年6月19日)
取締役、鄭基市
同、飽本正巳
同、佐々木貞夫
同、河合利樹
同、長久保達也
監査役（取締役）原田芳輝
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(2012年4月1日)
有機ＥＬ・ＦＰＤ・ＰＶＥ担当、取締役兼専務執行役員、鷲野憲治
東京エレクトロンシンガポールディレクター、同兼専務執行役員ＳＰＥ営業統括本部長兼欧米営業本部長、伊東晃
同、同兼執行役員コーポレート管理副本部長、原田芳輝
ＴＥＬベンチャーキャピタルディレクター、取締役、松岡孝明
ＣＴＢＵＧＭ（ＳＰＳＢＵＧＭ）執行役員、池田世崇
ＳＰＳＢＵＧＭ（ＴＰＳＢＵＧＭ兼ＳＤＢＵＧＭ）同、河合利樹
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(2012年4月1日)
経理／輸出・物流管理担当兼東京エレクトロンエージェンシー取締役、取締役兼執行役員コーポレート管理本部副本部長、原田芳輝
ＰＶＥ統合プロジェクト推進室長、常務執行役員ＰＶＥ本部長、伊藤高司
ＰＶＥ統合プロジェクト推進担当（経理／財務／輸出・物流管理担当兼東京エレクトロンＢＰ取締役兼東京エレクトロンエージェンシー取締役兼ＴＥＬベンチャーキャピタルディレクター兼ＴＥＬエピオンディレクター）執行役員、七沢豊
財務・経営戦略担当兼ＴＥＬエピオンディレクター（経営戦略室長）同知的財産・、堀哲朗
クリーントラック営業第一、執行役員ＣＴＢＵＧＭ、池田世崇
クリーントラックマーケティング、横森憲敬
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