(2023年4月1日)
常務執行役員（執行役員）イノベーションユニット長、小林邦裕
常務執行役員電子機材ユニット長兼基盤事業支援ユニット長（執行役員電子機材ユニット副ユニット長兼電子機材海外事業部長）相田智之
常務執行役員工業ガスユニット長兼基盤事業支援ユニット副ユニット長（執行役員中部支社長）飯塚浩幸
プラントエンジニアリングセンター長（オンサイト・プラントユニット長兼プラントエンジニアリングセンター副センター長）執行役員、柳川徹
中部支社長（経営企画・ICT・ユニット長）執行役員、竹内聡一郎
執行役員、メディカルユニット長、古海敏恵
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(2021年4月1日)
技術全般担当（エンジニアリング本部長）取締役兼専務執行役員、上原正弘
常務執行役員コーポレートユニット長（執行役員）取締役人事部長、亘聡
工業ガスユニット長兼基盤事業支援ユニット長（産業ガス事業本部長）常務執行役員ガス事業部長、栗下敏一
常務執行役員プラントエンジニアリングセンター長（執行役員エンジニアリング本部副本部長兼PEセンター所長）佐藤豊幸
常務執行役員技術統括ユニット長（執行役員技術本部長）三木健
イノベーションユニット長（イノベーション事業本部長）執行役員、小林邦裕
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(2019年2月1日)
オンサイト・プラント事業本部プラント事業部長、ASU営業部長、稲森武則
オンサイト・プラント事業本部オンサイト事業部長、オンサイト営業部長、千田健一郎
エンジニアリング本部PEC設計部長（オンサイト・プラント事業本部オンサイト事業部長）湯沢茂
エンジニアリング本部PEC副所長（設計部長）田村雅洋
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(2016年7月1日)
オンサイト事業部長（営業統括部副統括部長兼オンサイト営業）柳川徹
オンサイト事業部企画（営業統括部海外オンサイト企画）古賀公貴
オンサイト事業部オンサイト営業、千田健一郎
プラント事業部長（営業統括部長兼プラント営業）長井匡久
プラント事業部ＡＳＵ営業、稲森武則
プラント事業部ＳＣＥ営業（プラント・エンジニアリングセンター宇宙・低温機器統括部営業）撫原浩嗣
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