(2019年12月6日)
ナノテクノロジーソリューション事業統括本部副統括本部長、評価解析システム製品本部長、小室修
ナノテクノロジーソリューション事業統括本部事業戦略本部長（評価解析システム製品本部評価解析システムセンタ長）北條穣
ナノテクノロジーソリューション事業統括本部評価解析システム製品本部評価解析システムセンタ長（光学応用システム設計部長）梅原諭
ナノテクノロジーソリューション事業統括本部評価解析システム製品本部光学応用システム設計部長、浜松玲
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(2016年4月1日)
輸出管理責任者兼サービス・ソリューション事業推進本部長、執行役専務科学・医用システム事業統括本部長、池田俊幸
ＣＴＯ、執行役電子デバイスシステム事業統括本部長、木村勝高
執行役専務リスクマネジメント責任者兼ＣＲＯ（執行役常務）ＣＦＯ財務本部長、宇野俊一
執行役常務モノづくり戦略本部長（執行役）モノづくり・品質保証責任者兼科学・医用システム事業統括本部那珂地区生産本部長、本田穣慈
日立ハイテクサイエンス社長（科学・医用システム事業統括本部科学システム営業本部長）執行役科学・医用システム事業統括本部副統括本部長、岡田務
執行役電子デバイスシステム事業統括本部副統括本部長、評価装置営業本部長、石和太
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