(2019年7月1日)
次世代プロジェクト本部担当（新事業開発本部担当）代表取締役兼社長執行役員兼CEO、馬立稔和
デザインセンター担当、常務執行役員映像事業部長、御給伸好
映像事業部副事業部長、執行役員開発統括部長、池上博敬
生産本部副本部長、執行役員半導体装置事業部副事業部長、石塚伸之
経営戦略本部戦略企画部長（半導体装置事業部事業企画部長）居村一彦
経営戦略本部経営管理部長（経営戦略企画部長）勝又樹一郎
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(2018年6月1日)
新事業開発本部企画管理部長、上田英樹
光学本部第一開発部長、恩田稔
半導体装置事業部営業第二部長、青木秀浩
半導体装置事業部開発統括部次世代開発部長（第一開発部長）森田真弘
半導体装置事業部開発統括部第一開発部長、依田安史
半導体装置事業部開発統括部第二開発部長、一ノ瀬剛
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