(2021年4月1日)
社長室副室長兼投資企画部長（経営戦略本部戦略企画部長）居村一彦
サステナビリティ戦略部長、山田由香子
情報セキュリティ推進部長（ITソリューション本部長）鈴木博之
経営管理本部副本部長（コーポレートコミュニケーション部長）豊田陽介
経営管理本部広報部長、鈴木さやか
経営管理本部工務管理部長、内海稔和
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(2018年7月1日)
安全推進部長、佐伯優
ＩＴ推進部長、福冨和博
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(2016年4月1日)
メディカル事業推進本部ＳＣＭ推進部長、佐久間繁
メディカル事業推進本部第一開発部長（コアテクノロジー本部研究開発統括部バイオイメージング開発部長）岩崎豊
メディカル事業推進本部第二開発部長（第一開発部長）石山敏朗
情報セキュリティ推進本部技術部長（システム本部ＩＴ基盤技術部長）佐伯優
人事・総務本部人材開発部長、来生祐輔
人事・総務本部大井製作所長（横浜製作所長）白石晃一
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(2012年10月15日)
情報セキュリティ推進本部担当、取締役兼副社長執行役員兼ＣＦＯ、伊藤純一
情報セキュリティ推進本部長、取締役兼常務執行役員ビジネススタッフセンター長、金沢健一
情報セキュリティ推進本部戦略部ゼネラルマネジャー（システム本部ＩＴ基盤技術部ゼネラルマネジャー）小笠原尚也
情報セキュリティ推進本部技術部ゼネラルマネジャー（精機カンパニー半導体露光装置事業部生産本部アドバンストエンジニアリング部ゼネラルマネジャー）鈴木博之
システム本部ＩＴ基盤技術部ゼネラルマネジャー、佐伯優
精機カンパニー半導体露光装置事業部生産本部アドバンストエンジニアリング部ゼネラルマネジャー、田代英之
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