(2024年7月1日)
開発生産本部・コーポレート生産本部担当兼業務改革DX推進プロジェクトリーダー、副社長兼コーポレートオフィサーコーポレート生産本部ディビジョンオフィサー、佐々木貞夫
GlobalBusinessPlatform本部・ファイナンス本部担当（GlobalBusinessPlatform本部長兼業務改革プロジェクトリーダー兼内部統制担当兼TELMagneticSolutionsMemberoftheBoard兼TokyoElectronIndiaMemberoftheBoard）コーポレートオフィサー兼専務執行役員、長久保達也
AccountSales本部担当（AccountSales本部長兼TokyoElectronUSHoldingsMemberoftheBoard兼TokyoElectronKorea理事）コーポレートオフィサー兼専務執行役員、池田世崇
CorporateInnovation本部担当（SPE事業本部長）コーポレートオフィサー兼専務執行役員、三田野好伸
GlobalSales本部・GlobalCustomerEngineering本部担当（GlobalSales本部長兼DSS事業本部長）コーポレートオフィサー兼専務執行役員、大久保豪
常務執行役員前工程事業本部ディビジョンオフィサー（執行役員ESBUGM）コーポレートオフィサー、石田博之
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(2016年8月1日)
ＦＳＢＵグローバルサービス担当兼東京エレクトロンＦＥ社長、常務執行役員グローバル・フィールド本部統括本部長、堤秀介
東京エレクトロンFE・社長付理事・東京エレクトロングローバル・フィールド本部委嘱（執行役員・グローバル・フィールド本部統括副本部長・生産担当コーポレート安全担当・FSBU委嘱グローバルサービス担当東京エレクトロンFE代表取締役社長・TokyoElectronIndiaPrivateLtd.MemberoftheBoard）佐々木隆雄
TokyoElectronIndiaPrivateLtd.MemberoftheBoard（代表取締役内部統制担当取締役専務執行役員コーポレート管理本部長経理・財務・知的財産担当、経営戦略担当、IR担当、コンプライアンス・内部統制担当）、堀哲朗
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(2016年7月1日)
開発副本部長（開発・生産本部副本部長兼コーポレート製品開発副担当）取締役兼常務執行役員、鄭基市
開発副本部長（開発・生産本部副本部長兼塗布・洗浄担当）取締役兼常務執行役員、飽本正巳
常務執行役員グローバル・フィールド本部統括副本部長（執行役員ＳＤＢＵＧＭ）大久保豪
常務執行役員塗布・洗浄ＢＵＧＭ（執行役員ＣＴＢＵＧＭ）池田世崇
常務執行役員（執行役員）ＦＳＢＵＧＭ、春原清
成膜ＢＵＧＭ（ＴＰＳＢＵＧＭ）執行役員、多田新吾
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