(2024年10月1日)
コーポレート生産本部環境・調達・技術・標準化担当GM、副社長兼コーポレートオフィサーコーポレート生産本部ディビジョンオフィサー、佐々木貞夫
ブランド推進室長、執行役員経営戦略本部ディビジョンオフィサー、堂和寛
調達・生産企画室長（調達・生産企画室室長代理）坂口文緒
日本半導体製造装置協会出向（ブランド推進室長）太田恒和
東京エレクトロン宮城執行役員、東京エレクトロン宮城生産本部副本部長、田中公志
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(2024年7月1日)
開発生産本部・コーポレート生産本部担当兼業務改革DX推進プロジェクトリーダー、副社長兼コーポレートオフィサーコーポレート生産本部ディビジョンオフィサー、佐々木貞夫
GlobalBusinessPlatform本部・ファイナンス本部担当（GlobalBusinessPlatform本部長兼業務改革プロジェクトリーダー兼内部統制担当兼TELMagneticSolutionsMemberoftheBoard兼TokyoElectronIndiaMemberoftheBoard）コーポレートオフィサー兼専務執行役員、長久保達也
AccountSales本部担当（AccountSales本部長兼TokyoElectronUSHoldingsMemberoftheBoard兼TokyoElectronKorea理事）コーポレートオフィサー兼専務執行役員、池田世崇
CorporateInnovation本部担当（SPE事業本部長）コーポレートオフィサー兼専務執行役員、三田野好伸
GlobalSales本部・GlobalCustomerEngineering本部担当（GlobalSales本部長兼DSS事業本部長）コーポレートオフィサー兼専務執行役員、大久保豪
常務執行役員前工程事業本部ディビジョンオフィサー（執行役員ESBUGM）コーポレートオフィサー、石田博之
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(2022年7月1日)
副社長（専務執行役員第四開発生産本部長）コーポレートオフィサー第一開発生産本部長兼コーポレート生産本部長兼山梨事業所長、佐々木貞夫
専務執行役員人事総務ユニットGM（常務執行役員）コーポレートオフィサーGlobalBusinessPlatform本部長、長久保達也
専務執行役員（常務執行役員）コーポレートオフィサーAccountSales本部長、池田世崇
専務執行役員（常務執行役員）コーポレートオフィサーSPE事業本部長、三田野好伸
専務執行役員フィールドソリューション事業本部長（常務執行役員）コーポレートオフィサーGlobalSales本部長、大久保豪
常務執行役員（執行役員）第二開発生産本部長、児島雅之
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(2022年6月21日)
コーポレートオフィサー、社長兼CEOCorporateInnovation本部長、河合利樹
コーポレートオフィサー、代表取締役兼専務執行役員第一開発生産本部長兼第四開発生産本部長兼コーポレート生産本部長兼山梨事業所長、佐々木貞夫
取締役会議長（専務執行役員GlobalBusinessPlatform本部長兼内部統制担当）取締役、布川好一
コーポレートオフィサーGlobalBusinessPlatform本部長兼内部統制担当（取締役GlobalBusinessPlatform本部副本部長兼東京エレクトロンBP取締役兼東京エレクトロンエージェンシー取締役）常務執行役員長、久保達也
コーポレートオフィサー（取締役）常務執行役員AccountSales本部長、池田世崇
コーポレートオフィサー（取締役）常務執行役員SPE事業本部長、三田野好伸
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