(2021年5月7日)
開発本部副本部長（第二開発担当）常務執行役員AOI研究開発部長、米沢良
開発本部副本部長、執行役員FIB研究開発部長兼AI研究開発部長、水村通伸
第二開発担当（第四開発担当兼アニール研究開発部長）執行役員、後藤順
アニール研究開発部長、小杉純一
生産本部副本部長兼CS部長（技術本部副本部長兼リペア技術部長）執行役員、伊藤行男
製造部長（生産部長）竹下正雄
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(2019年6月27日)
生産本部長（VNSカンパニー長）取締役兼執行役員、天日和仁
管理本部長（管理担当兼総務部長）取締役兼執行役員社長室長、神沢幸宏
新規事業推進本部長（VTカンパニー調達本部長兼業務担当兼関係会社管理室長）専務執行役員、勝原隆
新規事業推進本部副本部長（VTカンパニー営業担当兼第一営業部長）執行役員、松元康博
技術本部リペア技術部長（第二技術部長）執行役員技術本部副本部長、伊藤行男
生産本部副本部長兼調達第一部長（VTカンパニー調達本部副本部長兼調達管理部長）執行役員、大淵一人
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(2017年11月29日)
ＶＴカンパニー第二技術部長（第三技術部長）執行役員技術本部副本部長、伊藤行男
ＶＴカンパニー第三技術部長、稲垣等
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(2015年6月25日)
第一開発担当（開発担当）専務、梶山康一
常務第二開発担当（執行役員）第三研究開発・、米沢良
取締役、城戸淳二
常勤監査役（取締役業務担当）和田正
業務担当兼関係会社管理室長、執行役員技術本部長、天野勇
第一開発担当補佐（開発担当補佐）執行役員第一研究開発・、水村通伸
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