(2021年9月1日)
コーポレート生産本部長（EHS・品質・調達・生産技術部門担当）代表取締役兼専務執行役員第一開発生産本部長兼第四開発生産本部長兼山梨事業所長、佐々木貞夫
コーポレート生産本部副本部長兼GM（EHS・品質・調達・生産技術部門GM）福島弘樹
コーポレート生産本部GM（EHS・品質・調達・生産技術部門GM）井上久司
コーポレート生産本部GM（EHS・品質・調達・生産技術部門GM）立山清久
CTSPS営業一部長（サーフェスプレパレーションシステム営業部長）西新哲也
CTSPS営業二部長（クリーントラック営業部長）三浦公也
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(2021年6月18日)
EHS・品質・調達・生産技術部門GM（東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ専務執行役員）福島弘樹
EHS・品質・調達・生産技術部門GM（東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ執行役員）井上久司
EHS・品質・調達・生産技術部門GM（東京エレクトロン九州常務執行役員）立山清久
アドバイザー（東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ監査役兼東京エレクトロン宮城監査役）平井康司
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