(2021年3月30日)
取締役相談役（代表取締役兼会長執行役員）舘野稔
取締役、執行役員経営戦略室長、坂野浩義
取締役、執行役員技術本部長、西川清彦
退任（取締役）五十嵐卓哉
共和サービスセンター社長（取締役）生沼伸夫
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(2020年3月27日)
経営管理本部長（海外統括本部長）常務兼執行役員、斎藤美雄
常務営業統括兼海外営業本部長（取締役営業本部長）執行役員、庄野誠一
生産本部長（経営管理本部長）取締役兼執行役員、五十嵐卓哉
取締役国内営業本部長（営業本部副本部長）執行役員、国信功
取締役、丸山製作所顧問、砂山晃一
退任（取締役）青柳裕史
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(2017年3月31日)
タマヤ計測システム社長、取締役兼執行役員経営管理本部長、五十嵐卓哉
タマヤ計測システム取締役、取締役兼執行役員技術本部長、生沼伸夫
タマヤ計測システム監査役、取締役、山下晴久
経営管理本部付副本部長兼タマヤ計測システム常務（マーケティング本部副本部長）民田嘉範
タマヤ計測システム取締役、営業本部副本部長、粳田巌
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(2017年1月1日)
海外営業、取締役兼執行役員海外統括本部長、斎藤美雄
企画・法務（人事・総務）取締役兼執行役員経営管理本部長、五十嵐卓哉
エンジニアリング本部長（生産本部長兼生産技術）執行役員、大原寿昭
内部監査室長（品質管理本部副本部長）沢田佳伸
人事・総務、河原博之
生産本部長代理（生産本部副本部長）生産管理・長、谷川栄一
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