(2023年4月1日)
執行役員常務（執行役員）久保祐一
執行役員常務（執行役員）金沢雅喜
執行役員常務（執行役員）計測社技術部門長兼業務支援室長、藤田太一
執行役員常務（執行役員）小泉公人
執行役員、石川一政
執行役員常務、小野睦
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(2019年4月1日)
信頼性保証管掌、取締役兼専務執行役員、東條俊明
GlobalHeadofR&D（研究開発本部長）専務執行役員、古賀淳一
常務執行役員（執行役員）事業開発部長、大槻昌彦
常務執行役員サプライチェーン本部長（執行役員サプライチェーン企画部長）福手準一
常務執行役員（執行役員）製薬技術本部長、浜浦健司
常務執行役員製品戦略本部長（執行役員経営戦略本部経営推進部長）平島昭司
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(2019年1月1日)
執行役員半導体社技術部門加工・バックエンド技術部ダイサシステムグループリーダ、久保祐一
執行役員兼ACCRETECHChina副総経理半導体事業部長、東正幸
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(2018年4月1日)
代表取締役（副社長兼ＣＦＯ兼副社長執行役員経営戦略本部長）広川和憲
副社長兼ＣＦＯ兼副社長執行役員経営戦略本部長（取締役兼専務執行役員製品戦略本部長）斎寿明
専務執行役員（常務執行役員）研究開発本部長、古賀淳一
秘書・渉外管掌（秘書部長）常務執行役員、長坂良治
製品戦略本部長（事業開発部長）常務執行役員、久保祐一
常務執行役員メディカルアフェアーズ管掌（執行役員研究開発本部開発統括部長）和田康平
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