(2021年4月1日)
業務プロセス改革推進室ビジネスプロデュース部長（モノづくり統括本部ソリューション本部ソリューション部長）西原健一
新事業開発本部長（モノづくり統括本部5G/AI推進センタ副センタ長）苗村幹也
新事業開発本部担当本部長兼モノづくり統括本部ソリューション本部担当本部長兼ソフトウェア開発部長、モノづくり統括本部鉄道ソリューション推進センタ副センタ長、浅輪晃
新事業開発本部次世代技術開発部長、中村学
新事業開発本部5G/AI開発部長、星名孝也
新事業開発本部先進ソリューション開発部長、桜井研二
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(2019年4月1日)
事業企画本部長兼グローバル事業推進部長、事業戦略部長、田中一寿
営業本部協創イノベーション営業部長、北川達也
営業本部パートナー事業推進センタ長（ソリューション統括本部営業本部協創イノベーション営業部長）小川一宏
営業本部東日本支社北海道支店長、西村耕一
営業本部西日本支社中国支店長、新宮浩一
モノづくり統括本部業務プロセス統制室長（モノづくり本部生産管理部長）南勝実
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(2018年4月1日)
電子機械事業部事業戦略本部事業企画部長、石黒認
電子機械事業部グローバルサービス統括本部長、グループ運営戦略室長、内野敏幸
電子機械事業部グローバルサービス統括本部フィールドエンジニアリング本部長、矢野雅彦
電子機械事業部グローバルサービス統括本部フィールドエンジニアリング部長、高道健
生産統括本部量産設計本部第三成膜装置設計部長、竹林雄二
生産統括本部製造本部生産技術部長、高島克美
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