(2021年6月24日)
取締役、大久保制宇
特別顧問（取締役兼専務執行役員製造統括本部長）堀口勝弘
退任（取締役）中川俊一
執行役員、関東・東海営業本部長、山崎昌樹
執行役員、経営企画本部長、中嶌大樹
常務執行役員（執行役員）ソリューション事業統括本部長兼クリーンルーム事業部長兼技術本部長、中島力
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(2016年6月)
取締役、内村健
取締役、西野実
取締役、竹内立男
退任（取締役）中川俊一
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(2014年6月20日)
会長（社長監査室担当）松永光正
社長監査室担当（取締役管理本部長）経営戦略室長、鈴木俊郎（すずきとしろう）
常務（取締役）ソリューション営業本部長、鴨下光夫
同（同）第二営業本部長、太田康彦
取締役（執行役員）海外営業本部副本部長兼第一事業推進・、北村文秀
同（同）ソリューション営業本部副本部長、幡野延行
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(2013年6月下旬)
取締役、武田忍
同、中川俊一
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