(2024年3月31日)
退任（取締役）小田島匠
退任（専務執行役員CMO・生産本部長）石塚伸之
退任（執行役員/産業機器事業部長 兼 Nikon Metrology NV取締役社長）中山正
退任（執行役員社長室）梶原望
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(2021年10月1日)
インプルメント事業部久宝寺事業センター所長、精密機器事業ユニット長、山崎祐一
インプルメント事業部精密機器技術部長（計測システム部長）花沢明由
インプルメント事業部計測システム部長、中山正
機械事業本部精密機器事業ユニット（精密機器技術部長）瀬川浩一
トラクタ総合事業部堺製造所生産技術第一部長、津戸潤一
トラクタ総合事業部生産技術第二部長（生産技術部長）小山田重徳
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(2019年2月10日)
FPD装置事業部長兼産業機器事業部担当（産業機器事業部長）常務執行役員、浜田智秀
産業機器事業部長（産業機器事業部副事業部長）執行役員マーケティング部長・Nikon Metrology NV 取締役社長、中山正
社長付（FPD 装置事業部長）常務執行役員、村松享幸
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(2019年1月25日)
専務コーポレートガバナンス統括室担当（常務）経営管理本部長兼秘書室長、高木誠
化学品営業本部長（生産資材本部長）常務、高橋一
生産資材本部長（化学品営業本部長）常務、尾嶋正弘
常務（取締役）研究開発本部長、大川哲生
生産資材本部副本部長兼資材調達部長（化学品営業本部化成品部長）取締役、井川照彦
化学研究所長（研開企画部長）執行役員研究開発本部副本部長、吉村巧
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