(2023年6月27日)
取締役、西田直人
取締役、中田朋子
退任（取締役）唐津修
退任（取締役）塚越聡一
退任（取締役）藤田敦司
退任（取締役）難波孝一
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(2023年6月27日)
ナノテクノロジー事業本部担当（CSO）代表取締役兼執行役員副社長兼GroupCOOSystemTestBusinessUnitリーダー兼ARTeamリーダー、ダグラス・ラフィーバ(Douglas Lefever)
経営執行役員（取締役兼経営執行役員）CPO生産本部長、塚越聡一
CCO、経営執行役員兼CHO、キース・ハードウィック(Keith Hardwick)
CFO兼CSO（Co-CSO新事業推進室・ナノテクノロジー事業本部担当）経営執行役員経営企画本部長、三橋靖夫
CTO兼ATE・BGリーダー兼DH事業本部担当（ATE・BGサブリーダー兼93000プロダクトユニット統括部長）同SoCテスト事業本部長、ユルゲン・ゼラー(Juergen Serrer)
経営執行役員兼CCRO営業本部長兼フィールドサービス本部担当（執行役員営業本部副本部長兼SoCBusinessDevelopment統括部・MemoryMarketingandBusinessDevelopment統括部・SVCMarketingandBusinessDevelopment統括部担当）中原真人
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(2022年10月1日)
CIO兼GlobalBusinessOperations本部長兼IT本部担当、経営執行役員兼CDO兼Co-CPO兼AppliedResearch&VentureTeamサブリーダー兼BBN&ChinaLabリーダー、リヒャルト・ユンガー
SoCBusinessDevelopment統括部担当（SVCMarketingandBusinessDevelopment統括部担当）執行役員営業本部副本部長、中原真人
営業本部システムソリューション統括部副統括部長、メモリSE部長、橋本純
営業本部システムソリューション統括部副統括部長、V93000SAE部長、渡辺敏文
T2000SE部長、村山智弘
GlobalBusinessOperationsGlobalStrategicSCMPlanningリーダー（生産本部グローバルSCMセンター部長）水野守
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(2021年8月1日)
SVCMarketingandBusinessDevelopment部担当（DeviceHandlingMarketingandBusinessDevelopment部担当）執行役員営業本部副本部長兼AppliedResearch&VentureTeamSBRグループリーダー、中原真人
経営企画本部コーポレートコミュニケーション統括部ESG推進室長、浅見俊子
営業本部SVCMarketingandBusinessDevelopment部長（DeviceHandlingMarketingandBusinessDevelopment）伊東武志
DH事業本部DH開発統括部DM技術部長、土井敦之
DH事業本部DH設計統括部DH設計部長（DI設計部長）DH事業本部DH設計統括部長、佐川慎
DH事業本部DH企画統括部DH制御技術部長、鈴木克彦
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