(2020年6月25日)
専務執行役員、取締役、塚越聡一
取締役、津久井幸一
取締役、ダグラス・ラフィーバ
取締役、住田清芽
退任（取締役）ハンス・ユルゲン・ヴァーグナー
退任（取締役）村田恒子
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(2019年6月26日)
AppliedResearch&VentureTeamBBN&ChinaLabリーダー、取締役兼常務執行役員ATEビジネスグループリーダー兼AppliedResearch&VentureTeamリーダー、ハンス・ユルゲン・ヴァーグナー
サプライチェーン統括部長、取締役兼常務執行役員生産本部長、塚越聡一
取締役管理担当、常務執行役員管理本部長、藤田敦司
顧問（取締役兼執行役員副社長カスタマリレーションズ担当兼営業本部長）明世範
DH事業本部担当（T2000事業本部長）常務執行役員ATEビジネスグループサブリーダー兼メモリテスト事業本部長、津久井幸一
AppliedResearch&VentureTeamUSLabリーダー兼SystemTestBusinessUnitリーダー、常務執行役員、ダグラス・ラフィーバ
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(2018年6月27日)
執行役員副社長カスタマリレーションズ担当（専務執行役員営業担当）取締役営業本部長、明世範
取締役テストテクノロジー担当、常務執行役員、ハンス・ユルゲン・ヴァーグナー
取締役サプライチェーン担当、常務執行役員生産本部長、塚越聡一
新企画商品開発室長（ＣＳＲ・環境推進センタ副センタ長兼新企画商品開発室副室長兼ＰｏｗｅｒＤｅｖｉｃｅＥｎａｂｌｉｎｇＧｒｏｕｐリーダー）常務執行役員社長室長、津久井幸一
常務執行役員事業推進本部長兼事業革新統括部長（執行役員事業革新本部長）加藤俊介
常務執行役員管理本部長（執行役員管理本部副本部長兼経理部長）藤田敦司
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(2018年6月27日)
ＡＴＥビジネスグループリーダー兼ＡｐｐｌｉｅｄＲｅｓｅａｒｃｈ＆ＶｅｎｔｕｒｅＴｅａｍリーダー（ＳｏＣＴｅｓｔＢｕｓｉｎｅｓｓＧｒｏｕｐ担当）取締役兼常務執行役員、ハンス・ユルゲン・ヴァーグナー
社長室長兼新企画商品開発室長（ＡＤＳ事業本部長）常務執行役員、南雲悟
ＡＴＥビジネスグループサブリーダー兼Ｔ２０００事業本部長兼メモリテスト事業本部長（社長室長兼新企画商品開発室長）常務執行役員、津久井幸一
ＡＴＥビジネスグループ９３０００事業本部長、執行役員、ユルゲン・ゼラー
執行役員管理本部副本部長、人事部長、小野明
執行役員、サンジーヴ・モーハン
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